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北京市華材檢測有限公司
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XPS, 全稱為X-ray Photoelectron Spectroscopy（X射線光電子能譜）, 是一種使用電子譜儀測量X-射線光子輻照時樣品表面所發(fā)射出的光電子和俄歇電子能量分布的方法。XPS可用于定性分析以及半定量分析, 一般從XPS圖譜的峰位和峰形獲得樣品表面元素成分、化學態(tài)和分子結(jié)構(gòu)等信息，從峰強可獲得樣品表面元素含量或濃度。
一般有以下幾個方面的應(yīng)用：
1、元素組成分析
對于未知樣品，首先進行全譜掃描，初步判斷樣品表面的元素組成；然后根據(jù)全譜掃描確定目標元素的窄區(qū)掃描能量范圍，對其進行高分辨細掃描，從而獲得其準確的結(jié)合能位置。
2、化學態(tài)分析
XPS 可通過測定內(nèi)層電子的化學位移來推知原子的結(jié)合狀態(tài)和電子分布狀態(tài)等信息。
3、半定量分析
XPS 不僅可用于定性分析（元素組成及化學態(tài)分析），由于其峰強度與元素含量之間具有一定的相關(guān)性，通過測量光電子峰的強度還可以對元素進行定量分析，目前而言只將 XPS 用于元素的半定量分析。
4、深度剖析
通過氬離子槍濺射、機械切削以及改變掠射角等方式可以實現(xiàn) XPS 的深度剖析，從而對一定深度范圍內(nèi)的薄層剖面進行元素組成和化學態(tài)分析，可提供材料的均勻性及元素的空間分布等信息。
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原則上可以測試除H，He之外的元素，說明如下：
1. 元素的價態(tài)及半定量分析。小于1%的元素可能測不出明顯信號。
2. 俄歇譜、價帶譜和刻蝕（<5nm）?？涛g一般在5 nm以內(nèi)。
3. 含鐵鈷錳鎳元素的定性為磁性樣品，樣品含S，F(xiàn)等元素或其他特殊需求需要咨詢交流。
1. 樣品狀態(tài)：可為粉末、塊狀、薄膜樣品
2. 粉末樣品：20-30mg
3. 塊狀、薄膜樣品：塊體/薄膜樣品尺寸小于5*5*3mm
某些價態(tài)會掃不出來嗎？不會，全譜能量很高。如果測不出來，要么就是污染碳很高，要么就是含量很少。一般是后者原因居多。
每種元素的檢測限一樣么？不一樣。每種元素的主峰的靈敏度因子都不一樣。
怎么判斷擬合是好是壞，是擬合了兩個峰算好還是擬合了三個峰算好？看波動大小，越小越好；還要看對應(yīng)的物理意義。波動如下圖所示。具體擬合幾個峰，要參考樣品本身的情況，以及擬合的貼合度，沒有嚴格的界定哪個更好。
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